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电路的电畴尺寸及有关参量
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电路的电畴尺寸及有关参量
半截旋转椭球畴 柱状畴
rs*=0.834b/(aE)
ls*=1.87bc1/2/(aE)3/2
Ws*=0.518b3c1/2/(aE)5/2
a=4P/3
b= 2/2
rc*=0.5b’/(a’E)=0.42b/(aE)
lc*=t
Wc*=0.25b’2t/(a’E)=0.27b2t/(aE)
a’= 2P=1.5a
b’= 2 =1.27b
c’=0
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式中E是电场,a、b、c是与几何形状、自发极化P、畴壁能密度、沿极轴电容率rp和垂直极轴电容率ra有关的常量。
设反向畴从一个电极面生成,形如截去一半的旋转椭球,长度为l,在电极面上半径为r。该畴引起的能量增加为
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这种反向畴沿极轴长大,到达另一电极后即成为柱状畴,此时上式仍然成立,但相应的常量有改变,记为a’、b’和c’。因为电极面上自由电荷屏蔽了极化电荷,故退极化电场消失,与退极化能有关的常量c’=0。
表5.4列出了两种情况下的常量a、b、c和a’、b’、c’。
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W的几何图象是以r和l为独立变量的一个曲面。对于一电场E,曲面上有一鞍点,其坐标为rs*、ls*和Ws*。该点不但满足上式,而且满足
求解以上两式的联立方程即可求出该点坐标。
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在柱状畴中,l等于晶片厚度t。存在一临界半径rc*,相应的W为Wc* 。rc*由
确定。所得到的鞍点坐标及临界半径列于表5.4中。
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s—saddle point, c-cylindrical
极化反转过程中,一个代表点(rs,ls,Ws)从原点沿能量谷运动。它可能直接到达另一电极,也可能到达鞍点(rs*,ls*,Ws*),并越过鞍点沿能量谷进一步到达较大的尺寸rs*和ls*。运动情况取决于rs*相对于ls*的大小。
对于ls*<t,但是截面半径为rs*>rc*,畴将长大,并于另一电极面接触,以降低应变能。这种畴是稳定的,因为截面半径rs大于临界半径rc*。事实上,当rs* =2rc*时, W=0。
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如果ls*=t(但rs*<rc*),显然所需的电场较小。此时有
利用ls*<t的条件,由表5.4可得所需的电场为:
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此式与图5.23所示的结果一致。后来的实验表明,上述关系对其它一些材料也成立。这个模型忽略了与极轴垂直平面内的各向异性。计入各向异性后,以上三式只有数值上的变化,Et-2/3的关系仍然成立。
所以矫顽场可写为
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为了发展铁电薄膜存贮器,近年来对薄膜极化反转开展了一系列的研究工作。铁电薄膜作为存贮元件的优值为P/(Ec),P为极化强度,和Ec分别是电容率和矫顽场。与片状材料不同,薄膜厚度减小时,矫顽场与厚度的关系为:
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一般情况下:
Ec从正比于t-2/3到正比于t-4/3的变化大约发生于膜厚为100-200nm的范围。
矫顽场与厚度的乘积给出反转电压Vs。由前两式可知,在厚度较大和较小时,Vs与厚度的关系分别为Vs t1/3和Vs t-1/3,于是Vs将在某一厚度呈现极小值。
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对PZT薄膜,该厚度约为200nm,相应的Vs约为1V。
由Vs与t的关系可知,当150nm<t<1.5m时,Vs均小于5V。CMOS硅集成电路和GaAs集成电路分别要求工作电压小于5V和3V,所以150nm-1.5m是与CMOS相容的铁电存贮器的厚度范围。
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