7.2微波传感器（课件）《传感器检测技术》同步教学（机械工业出版社）

微波概述 微波传感器的原理和组成 微波传感器的应用 微 波 传 感 器 微波概述 微波是波长为1 mm～1 m的电磁波，可以细分为三个波段： 分米波、厘米波、毫米波。微波既具有电磁波的性质，又不同于普通无线电波和光波的性质，是一种相对波长较长的电磁波。微波具有下列特点： ① 定向辐射的装置容易制造； ② 遇到各种障碍物易于反射； ③ 绕射能力差；  ④ 传输特性好，传输过程中受烟雾、火焰、灰尘、强光的影响很小； ⑤介质对微波的吸收与介质的介电常数成比例， 水对微波的吸收作用最强。 微波传感器的原理和组成 微波传感器的测量原理及分类 微波传感器是利用微波特性来检测某些物理量的器件或装置。由发射天线发出微波，此波遇到被测物体时将被吸收或反射，使微波功率发生变化。若利用接收天线，接收到通过被测物体或由被测物体反射回来的微波，并将它转换为电信号，再经过信号调理电路，即可以显示出被测量，实现了微波检测。 根据微波传感器的原理，微波传感器可以分为反射式和遮断式两类。 1. 反射式微波传感器 反射式微波传感器是通过检测被测物反射回来的微波功率或经过的时间间隔来测量被测量的。通常它可以测量物体的位置、位移、厚度等参数。  2. 遮断式微波传感器 遮断式微波传感器是通过检测接收天线收到的微波功率大小来判断发射天线与接收天线之间有无被测物体或被测物体的厚度、 含水量等参数的。 微波传感器的组成 微波传感器通常由微波发射器（即微波振荡器）、 微波天线及微波检测器三部分组成。  1. 微波振荡器及微波天线 微波振荡器是产生微波的装置。由于微波波长很短，即频率很高（300 MHz～300 GHz），要求振荡回路中具有非常微小的电感与电容，因此不能用普通的电子管与晶体管构成微波振荡器。 构成微波振荡器的器件有调速管、磁控管或某些固态器件，小型微波振荡器也可以采用体效应管。 输入接收机的反射波的电压ue可用下式表示： 喇叭形天线结构简单，制造方便，可以看作是波导管的延续。 由微波振荡器产生的振荡信号需要用波导管（管长为10 cm以上，可用同轴电缆）传输，并通过天线发射出去。为了使发射的微波具有尖锐的方向性，天线要具有特殊的结构。常用的天线如图11-1所示，其中有喇叭形天线（图（a） 、（b））、 抛物面天线（图（c）、（d））、 介质天线与隙缝天线等。 喇叭形天线结构简单，制造方便，可以看作是波导管的延续。喇叭形天线在波导管与空间之间起匹配作用，可以获得最大能量输出。抛物面天线使微波发射方向性得到改善。 图11-1 常用的微波天线 扇形喇叭天线; (b) 圆锥形喇叭天线; (c) 旋转抛物面天线; (d) 抛物柱面天线 2. 微波检测器 电磁波作为空间的微小电场变动而传播，所以使用电流-电压特性呈现非线性的电子元件作为探测它的敏感探头。与其它传感器相比， 敏感探头在其工作频率范围内必须有足够快的响应速度。作为非线性的电子元件，在几兆赫以下的频率通常可用半导体PN结，而对于频率比较高的可使用肖特基结。在灵敏度特性要求特别高的情况下可使用超导材料的约瑟夫逊结检测器、SIS检测器等超导隧道结元件，而在接近光的频率区域可使用由金属-氧化物-金属构成的隧道结元件。 微波的检测方法有两种，一种是将微波变化为电流的视频变化方式，另一种是与本机振荡器并用而变化为频率比微波低的外差法。  微波检测器性能参数有： 频率范围、 灵敏度-波长特性、 检测面积、FOV（视角）、输入耦合率、电压灵敏度、 输出阻抗、 响应时间常数、 噪声特性、极化灵敏度、工作温度、可靠性、 温度特性、 耐环境性等。 微波传感器的特点 微波传感器作为一种新型的非接触传感器具有如下特点： ① 有极宽的频谱（波长=1.0 mm~1.0m）可供选用，可根据被测对象的特点选择不同的测量频率；  ② 在烟雾、 粉尘、 水汽、 化学气氛以及高、 低温环境中对检测信号的传播影响极小， 因此可以在恶劣环境下工作；  ③ 时间常数小， 反应速度快， 可以进行动态检测与实时处理， 便于自动控制； ④ 测量信号本身就是电信号，无须进行非电量的转换， 从而简化了传感器与微处理器间的接口，便