内容正文:
场效应管
结型场效应管
场效应管应用原理
MOS场效应管
场效应管
场效应管和双极型管比较
集成工艺
概 述
场效应管是另一种有正向受控作用的半导体器件。
特点:
比BJT制造工艺简单、占用芯片面积小(体积小)、器件特性便于控制等。
是目前制造LSIC的主要有源器件。
MOS场效应管
P沟道(P-EMOS)
N沟道(N-EMOS)
P沟道(P-DMOS)
N沟道(N-DMOS)
MOSFET
增强型(E)
耗尽型(D)
JFET
结型
N沟道
P沟道
N-JFET
P-JFET
FET分类:
N
+
N
+
P
+
P
+
P
B
S
G
D
3.1.1 N-EMOS FET结构示意图
源极
漏极
衬底极
SiO2
绝缘层
金属栅极
P型硅
衬底
S
G
B
D
电路符号
l
沟道长度
W
沟道宽度
铝,多晶硅
MOS场效应管
扩散。引线区P+
vGS=0时,无导电沟道
沟道线
1、由金属、氧化物和半导体制成。称为金属-氧化物-半导体场效应管(M-O-S)。——平板电容器。
2、栅极有SiO2绝缘层,或又称 I-G-FET(绝缘栅型)场效应管。
MOS场效应管
3、FET利用输入回路的电压(电场效应)来控制输出回路电流的器件,故此命名。
4、符号中,箭头指向PN结正偏时正向电流方向。
P沟道EMOS管结构、符号。
+ -
vGS
vDS
+ -
N
N
+
P
+
S
G
D
B
P
+
N-EMOS管与P-EMOS管工作原理相似。
PN结反偏=U接最高电位,即 vDS < 0 、vGS < 0
各极外加电压极性相反、电流ID流向相反。
不同之处:
电路符号中的箭头方向相反。形成电流的载流子性质不同。
或B与S极相连。
S
G
B
D
电路符号
MOS管外部工作条件:两个PN结反偏(D与B,S与B)。
N-EMOS管为:
vDS > 0 (保证漏、衬PN结反偏)。 vDS <0
B接电路最低电位,
或B与S极相连(保证源、衬PN结反偏)。
vGS > 0 (形成导电沟道)。 vGS < 0
MOS场效应管
3.1.2 N-EMOS场效应管工作原理
说明
一、截止区与沟道形成。
1、沟道形成原理。
(1)设vDS =0,当vGS=0时,两个N+区彼此隔断,iD=0。
栅衬之间相当于以SiO2为介质的平板电容器。
阻挡层宽度,向低掺杂的P区扩展。负离子。
图(a)
图3-1-2(a)
(2)当vGS>0时,vGS对沟道导电能力的控制作用。图3-1-2(b)
若vGS>0,电场指向下,将两个N+区(D、S区多子)和B的少子电子吸向表面,与空穴复合,又排斥B的空穴。衬底表面薄层留下负离子为主的空间电荷区,并与左右的电荷区相通。图3-1-2(b)。
当vGS
耗尽层加宽,电子大于空穴,P转为N,两个N+区相通,D、S形成导电沟道。图3-1-2(C)。
称它反型层,由电子形成的,称N沟道。
N型导电沟道。
反型层
图(b)
图(C)
图(C)
vGS越大,反型层中n 浓度越多,导电能力越强,漏极电流越大。
沟道电阻变小。
反型层加厚
vGS
(3)开启电压VGS(th):沟道刚刚形成时的vGS栅源电压。
当vDS>0时,两个N+区,S区多子电子漂移到D区,形成自D极向S极的漏极电流。
漏极电流变大。
二、当vGS>VGS(th)且不变,0<vDS< vGS-VGS(th)
对沟道导电能力iD的影响。图3-1-4
vDS较小
vGD
沟道变窄。
若vGD=VGS(th)
预夹断
vDS
讲P114,沟道,S最深,D最浅。当vGS一定,
预夹断前:
D—S间呈线性电阻
这由vDS引起近漏极端的夹断,与前述整个沟道夹断不同。
(3-1-3)
图3-1-4,非饱和区(可变电阻区)P114
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